实验室6位一体水蒸气蒸馏装置通常采用预蒸馏的方法，水中氟化物在含高氯酸（或硫酸）的溶液中，通入水蒸气，以氟硅酸或氢氟酸形式而被蒸出。

实验室6位一体水蒸气蒸馏装置技术参数：

 实验室6位一体水蒸气蒸馏装置在使用中应如何对仪器的操作进行维护保养呢？
一体化蒸馏仪是由6个单元的加热装置组成的，玻璃蒸馏器皿洗刷仪器时，应先将手洗净，免得手上的油污附在仪器上，增加洗刷的困难，一般的全玻璃蒸馏器，如烧杯、烧瓶、锥形瓶、试管和量筒等，可以用毛刷从外到里用水刷洗，这样可刷洗掉水可溶性物质、部分不溶性物质和灰尘。若有油污等有机物，可用洗洁精水溶液浸泡一段时间后，再用蘸有洗涤剂的毛刷擦洗，然后用自来水冲洗干净，再用纯化水润洗内壁2～3次。洗净的玻璃仪器内壁应能被水均匀地润湿而无水的条纹，且不挂水珠。常使用磨口的玻璃仪器，洗刷时应注意保护磨口。 玻璃蒸馏器皿在使用后须立即清洗，针对滤器砂芯中残留的不同沉淀物，采用适当的洗涤剂先溶解砂芯表面沉淀的固体，然后用减压抽洗法反复用洗涤剂把砂芯中残存的沉淀物全部抽洗掉，再用蒸馏水冲洗干净。用来配制、盛放高浓度溶液的带磨口塞的玻璃仪器，如，容量瓶、比色管、滴定管等，用后应及时把溶液倒出，废弃处理或放入试剂瓶中贮存，并及时清洗，以防溶质析出，堵塞磨口塞，损坏玻璃仪器。 玻璃蒸馏器皿清洗步骤，切断电源，关上自来水开关，移下冷凝管，但不需拆下塑料管。小心加入约100ml浓盐酸待横式烧瓶内，与瓶内的水稀释成稀盐酸，如积垢较多，盐酸量可多一些。数分钟后，由水位器放出，然后用自来水冲洗数次，为了清除微量盐酸，可将烧瓶前后插动使不易清洗的死角也冲洗清洁为止。当再次蒸馏后，开始10分钟内所蒸馏的水，舍去不用。 仪器的清洗，在蒸馏一段时间后，水垢就积聚在横式烧瓶内及石英加热管表面上，这时需要进行清洗，清洗的次数主要视自来水的硬度和使用时间而定，入仪器长时间不进行清洗，要影响蒸馏效果，严重的要损坏加热管，并且清洗时间也要延长。